2024-12-09
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一、Dummy Wafer 的定義與作用 Dummy Wafer,中文稱為填充片,是在晶圓制造過程中專門用于填充機臺設備的晶圓,通常不會用于實際生產,也不會直接作為成品出售。其主要作用是為滿足設備運行的特定要求或約束,確保設備的工藝性能穩定,同時優化資源利用率并減少生產風險。 Dummy Wafer 的設計和使用是晶圓廠生產管理的重要組成部分。在晶圓制造的不同工藝階段,由于設備的特性及工藝要求,Dummy Wafer 在保證設備正常運行、優化資源分配、降低良品晶圓損耗方面起到了不可替代的作用。
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